顯微硬度計是由顯微鏡和硬度計兩部分組成。顯微鏡用來觀察顯微組織，確定測試部位，測定壓痕對角線的長度；硬度測試裝置則是將一事實上的載荷加在一事實上的壓并沒有上，壓入所確定的測試部位。